Spin Master 100是由美国Chemat公司开发高精密的旋转涂
膜仪。主要为高等院校、科研院所、研发中心等进行研究,开发各种功能
薄膜所用。适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃、生物薄
膜、制版等工艺表面涂覆。
特色:
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢、永不生锈,便于清洗。
采用全色7英寸触摸屏控制面板,直观简单更方便操作。
图形显示即时旋涂速度和时间,设置的参数旋涂过程一目了然。(图1)
内置电脑控制,Windows操作界面, USB接口与打印机等外部设备连接
(可选)。
不锈钢腔体、聚四氟乙烯腔体(可选)。
自定义镀膜程序、镀膜步骤任意可变。40种镀膜程序,每种程序可以设置
40个步骤(可据用户要求任意扩展)。
主要技术指标:
镀膜时间设置: 1~9999 sec/ step
旋涂速度:0~ 5,000 rpm
旋涂加速度:0 ~ 30,000 rpm/s (空载)
转速稳定性:1 rpm
转速可重复性:1
rpm
镀膜尺寸:φ10 ~ 200 mm |